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產(chǎn)品展示 PRODUCTS

化學(xué)濕臺

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設備名稱(chēng)

化學(xué)濕臺

用途

濕法 清洗 腐蝕

操作方式

手動(dòng)/半自動(dòng)/自動(dòng)

適用領(lǐng)域

半導體材料、集成電路、MEMS、LED芯片、功率器件等

適用工藝

酸洗、堿洗、有機清洗、刻蝕、超聲(兆聲清洗)、QDR清洗、顯影、去膠、電鍍、旋干

清洗方式

槽式清洗 單片清洗

可清洗尺寸

2吋--12吋

藥液供給

手動(dòng)/自動(dòng)

主體材質(zhì)

PP PVC不銹鋼

槽體材質(zhì)

石英、PVDF、PTFE、NPP、 不銹鋼等

溫控精度

±1℃

安全防護

自動(dòng)安全門(mén)、漏液報警、漏電保護、液位保護、急停、聲光報警系統

模塊化設計

滿(mǎn)足客戶(hù)多種工藝及產(chǎn)能的定制化要求

可編程菜單,方便用戶(hù)操作,直觀(guān)

實(shí)時(shí)流程顯示,可控性強

多級密碼,方便管理,安全可靠

自動(dòng)保存生產(chǎn)數據

可實(shí)現遠程控制

可實(shí)現功能

藥液管理系統(自動(dòng)供液、自動(dòng)補液、循環(huán)過(guò)濾)、在線(xiàn)加熱、甩干、電導率檢測、恒溫系統、百級FFU、自動(dòng)滅火等