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產(chǎn)品展示 PRODUCTS

兆聲清洗機

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設備名稱(chēng)

單片清洗機

用途

晶圓、掩膜版的清洗和甩干

操作方式

自動(dòng)

適用領(lǐng)域

半導體材料、集成電路、MEMS、LED芯片、功率器件等

適用工藝

晶圓的RCA清洗、兆聲清洗和甩干

清洗方式

旋流式?jīng)_洗噴嘴,兆聲DIW清洗

可清洗尺寸

2吋--12吋晶圓

真空值

顯示屏同步顯示,可達≤-90KPa

兆聲清洗

兆聲頻率280-950KHz可選,功率可調;

伺服電機

采用進(jìn)口專(zhuān)用旋轉電機,運行安靜平穩,0- 3500RPM+轉/秒加速僅需0.5秒

真空吸盤(pán)

采用PEEK、PTFE材質(zhì),強度高、耐腐蝕、密封性能好

載片臺

采用真空吸附+PIN定位,防止甩片碎片

主體材質(zhì)

不銹鋼、PP、PVC

槽體材質(zhì)

不銹鋼、PP、PVDF

安全防護

自動(dòng)安全門(mén)、漏液報警、聲光報警系統

模塊化設計

滿(mǎn)足客戶(hù)多種工藝及產(chǎn)能的定制化要求

可編程菜單,方便用戶(hù)操作,直觀(guān)

實(shí)時(shí)流程顯示,可控性強

多級密碼,方便管理,安全可靠

自動(dòng)保存生產(chǎn)數據

可實(shí)現功能

可裝配裝取片機器人

可配置滾刷刷洗;

化學(xué)液及純水自動(dòng)供應,流量可視可調

可實(shí)現遠程控制