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產(chǎn)品展示 PRODUCTS

去膠/顯影/清洗機

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設備名稱(chēng)

顯影機

用途

可用于去膠、顯影等黃光區操作

操作方式

手動(dòng)/半自動(dòng)/自動(dòng)

適用領(lǐng)域

半導體、LED芯片、MEMS等

適用工藝

勻膠、顯影、去膠

顯影方式

槽式

適用尺寸

2吋--12吋晶圓

藥液供給

手動(dòng)或自動(dòng)供給

主體材質(zhì)

不銹鋼、PP、PVC

槽體材質(zhì)

不銹鋼、PP、PVDF

溫控精度

±1℃

安全防護

自動(dòng)安全門(mén)、漏液報警、漏電保護、液位保護、急停、聲光報警系統

模塊化設計

滿(mǎn)足客戶(hù)多種工藝及產(chǎn)能的定制化要求

可編程菜單,方便用戶(hù)操作,直觀(guān)

實(shí)時(shí)流程顯示,可控性強

多級密碼,方便管理,安全可靠

自動(dòng)保存生產(chǎn)數據

可實(shí)現遠程控制

可實(shí)現功能

藥液管理系統(自動(dòng)供液、自動(dòng)補液、循環(huán)過(guò)濾)、機械拋動(dòng)、恒溫系統、自動(dòng)滅火